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MONAMI
METADATEN · DETAIL · PDF
DATA-EDU-MONAMI-ALL-2.6.0 / 2026-06-13

Dokumentprofil

DETAILSEITE

Untersuchen und Simulieren der Eigenschaften von mittels PLD, bei rotierendem Substrat hergestellten ta-C-Schichten

Sicherheit: nicht erkanntIngenieurwesen & TechnikNicht eindeutig
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2019
masterthesis / doc-type:mas…
12373

Metadaten

OAI · FRONTDOOR
Verfasser/inVoigt, Sebastian
Jahr2019
Dokumenttypmasterthesis / doc-type:masterThesis
Sprachedeu
MOnAMi docId12373
OAI-Identifieroai:monami.hs-mittweida.de:12373

Rollenprüfung

KONTROLLE

Automatische Einordnung aus OAI- und Frontdoor-Metadaten.

Krah-Kontext nicht erkanntSicherheit: nicht erkannt

Abstract / Beschreibung

METADATA TEXT
Diese Arbeit beinhaltet eine detaillierte Dokumentation für eine Simulation zum Ermitteln der Schichtddickenverteilung von mittels PLD hergestellten Kohlenstoffschichten. Des Weiteren wurden im Ramen dieser Arbeit Versuche zum Herstellen von ta-C-Schichten bei rotierendem Substrat durchgeführt und dabei speziell der Einfluss von mit der Rotationsgeschwindigkeit verbundenen Subplantationseffekten untersucht.

Schlagwörter

KEYWORDS
SchichtdickeKohlenstoffDünne Schichtddc:667.9

Zitierhinweis nach APA 7

APA 7
Voigt, S.. (2019). Untersuchen und Simulieren der Eigenschaften von mittels PLD, bei rotierendem Substrat hergestellten ta-C-Schichten [Masterarbeit, Hochschule Mittweida]. MOnAMi – Hochschulschriftenserver der Hochschule Mittweida. https://monami.hs-mittweida.de/frontdoor/index/index/docId/12373

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