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MONAMI
METADATEN · DETAIL · PDF
DATA-EDU-MONAMI-ALL-2.6.0 / 2026-06-13

Dokumentprofil

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Untersuchungen zur Herstellung rotationssymmetrischer mikrooptischer Bauelemente auf Basis der sequentiellen Maskenprojektion

Sicherheit: nicht erkanntIngenieurwesen & TechnikNicht eindeutig
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2021
masterthesis / doc-type:mas…
13364

Metadaten

OAI · FRONTDOOR
Verfasser/inSyrbe, Eric
Jahr2021
Dokumenttypmasterthesis / doc-type:masterThesis
Sprachedeu
MOnAMi docId13364
OAI-Identifieroai:monami.hs-mittweida.de:13364

Rollenprüfung

KONTROLLE

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Abstract / Beschreibung

METADATA TEXT
In dieser Arbeit wird ein Verfahren auf Basis der sequentiellen Maskenprojektion zur Herstellung von Mikrolinsen mittels Fluorlasermikrostrukturierung vorgestellt. Der verwendete Versuchsaufbau wird beschrieben, getestet und für eine bestmögliche Formgenauigkeit der Mikrostrukturen optimiert. Nachfolgend werden mittels der Simulation des Strukturierungsprozesses und unter Vorgabe eines Sollkrümmungsradius geeignete Parametersätze berechnet. Der Krümmungsradius der entsprechend strukturierten Mikrolinsen kann somit gezielt eingestellt werden.

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Schlagwörter

KEYWORDS
LaserbearbeitungOptisches BauelementMikrobearbeitungLaserablationddc:671

Zitierhinweis nach APA 7

APA 7
Syrbe, E.. (2021). Untersuchungen zur Herstellung rotationssymmetrischer mikrooptischer Bauelemente auf Basis der sequentiellen Maskenprojektion [Masterarbeit, Hochschule Mittweida]. MOnAMi – Hochschulschriftenserver der Hochschule Mittweida. https://monami.hs-mittweida.de/frontdoor/index/index/docId/13364

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