MOnAMi-Metadatensuche

Technische Suche über öffentliche MOnAMi-Metadaten. Standardmäßig werden nur Treffer angezeigt, bei denen Eckehard Krah im Prüfungs- oder Betreuungskontext erkannt wurde; der Suchbereich und zusätzliche Filter sind differenziert steuerbar. Es werden keine PDFs lokal gespeichert. Rechte, Inhalte und Verfügbarkeit bleiben bei der Originalquelle MOnAMi.

MONAMI
METADATEN · DETAIL · PDF
DATA-EDU-MONAMI-ALL-2.6.0 / 2026-06-13

Dokumentprofil

DETAILSEITE

Konzipierung und Untersuchung eines Reinigungsprogrammes für Binärmasken an einer Mehrkammeranlage

Bachelor erkanntSicherheit: nicht erkanntIngenieurwesen & TechnikNicht eindeutig
2015
bachelorthesis / doc-type:b…
15501

Metadaten

OAI · FRONTDOOR
Verfasser/inSchmidt, Mirko
Jahr2015
Dokumenttypbachelorthesis / doc-type:bachelorThesis
Sprachedeu
MOnAMi docId15501
OAI-Identifieroai:monami.hs-mittweida.de:15501

Rollenprüfung

KONTROLLE

Automatische Einordnung aus OAI- und Frontdoor-Metadaten.

Krah-Kontext nicht erkanntSicherheit: nicht erkannt

Abstract / Beschreibung

METADATA TEXT
Gegenstand dieser Arbeit ist die Entwicklung eines Reinigungsprogrammes für Binärmasken des Formates 6025 an einer Mehrkammeranlage. Sowie dessen Vergleich mit einem etablierten Prozess an einer Einkammeranlage, um über den weiteren Einsatz der Mehrkammeranlage zu entscheiden.

Schlagwörter

KEYWORDS
ReinigungsverfahrenMaske <Halbleitertechnologie>Fotolithografie <Halbleitertechnologie>ddc:621.38152

Zitierhinweis nach APA 7

APA 7
Schmidt, M.. (2015). Konzipierung und Untersuchung eines Reinigungsprogrammes für Binärmasken an einer Mehrkammeranlage [Bachelorarbeit, Hochschule Mittweida]. MOnAMi – Hochschulschriftenserver der Hochschule Mittweida. https://monami.hs-mittweida.de/frontdoor/index/index/docId/15501

Ähnliche Arbeiten

KEYWORDS · THEMA

Maskenentwurf parametrisierbarer optoelektronischer Bauelemente einschließlich Entwurfsregelprüfung

2017Ingenieurwesen & Technik

Verfasser/in laut Metadaten: Abdeen, Oliver

In diesem Projekt wird die Erstellung eines Satzes lithographischer Masken für die Halbleiterbearbeitung behandelt. Als Basis dient ein gut verstandenes Bauelement aus dem Bereich der Optoelektronik, eine Fotodiode. Diese wird im Rahmen des Diplomprojektes parametrisierbar entwickelt und entworfen sowie programmiert. Der Entwurf wird dann …

Verbesserung des Verschleiß- und Versagensbildes von auf tetraedrisch amorphem Kohlenstoff basierenden Mehrlagenschichten unter Verwendung von Wolframkarbid-Zwischenschichten

2016Bachelor erkanntIngenieurwesen & Technik

Verfasser/in laut Metadaten: Krug, Tobias

Die folgende Arbeit beschäftigt sich mit der Untersuchung von Mehrschichtsystemen von periodischen WC und ta-C Multilagenschichten auf Hinblick der tribologischen Eigenschaften, sowie Härte und Haftung bei Variation der Bilayerperiode. Dazu wurden 3 Messreihen mit unterschiedlichen Verhältnissen erstellt.

Untersuchungen zum Einfluss physikalischer und chemischer Wechselwirkungen von Nd:YAG Laserimpulsen unterschiedlicher Wellenlängen auf die Markierung von GaAs Halbleiterwafern

2017Bachelor erkanntIngenieurwesen & Technik

Verfasser/in laut Metadaten: Eckert, Sven

Im Rahmen dieser Arbeit soll untersucht werden, ob sich verschiedene Wafereigenschaften wie Dotierung, Kristallorientierung, Ladungsträgerkonzentration des Wafers oder Oxidschichten, die in der Zeit vor dem Lasermarkieren auf den Wafern entstehen können, eine Auswirkung auf den Markierprozess haben. Im zweiten Teil dieser Arbeit wird unte …

Entnahme von Wärme aus dem Trinkwassernetz zum Betrieb von Wärmepumpen

2008Ingenieurwesen & Technik

Verfasser/in laut Metadaten: Horn, Benjamin

nicht vorhanden

Berechnung und Dimensionierung eines Heizkondensators

2008Ingenieurwesen & Technik

Verfasser/in laut Metadaten: Danksagmüller, Christian

Das Ziel der Diplomarbeit liegt darin, einen Heizkondensator, welcher in einem Dampfkraftwerk das nach dem Prinzip der Heizwärmekoppelung arbeitet, thermodynamisch zu berechnen. Es sind dies Kondensatoren, deren Rohrbündel nicht von Kühlwasser sondern von Heizwasser aus einem Fernwärmenetz durchflossen werden. Dabei wird ein Teil des die …

Rechtlicher Hinweis

ORIGINALQUELLE · KEINE SPEICHERUNG
Originalquelle: Die maßgebliche Quelle für diesen Datensatz ist MOnAMi. Dieses Tool übernimmt keine Gewähr für Vollständigkeit, Aktualität, bibliografische Richtigkeit oder dauerhafte Verfügbarkeit.

PDF-Nutzung: Die PDF-Datei wird nicht lokal gespeichert. Die Vorschau und Volltextsuche rufen die Originaldatei technisch über einen signierten Proxy ab und verarbeiten sie nur zur Anzeige im Browser.

Rechte und Verantwortung: Urheberrechte, Lizenzen, Sperrvermerke und inhaltliche Verantwortung verbleiben bei den jeweiligen Autor:innen, Rechteinhaber:innen und der Originalplattform. Die automatisch erzeugte Rollen-, Themen-, Methoden- und Zitierklassifikation ist eine technische Ableitung und muss bei wissenschaftlicher Verwendung geprüft werden.
15.742
344
160
2.6