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MONAMI
METADATEN · DETAIL · PDF
DATA-EDU-MONAMI-ALL-2.6.0 / 2026-06-13

Dokumentprofil

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Untersuchung zur laserinduzierten Erzeugung von Kavitäten in Silizium

Bachelor erkanntSicherheit: nicht erkanntIngenieurwesen & TechnikNicht eindeutig
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2016
bachelorthesis / doc-type:b…
9787

Metadaten

OAI · FRONTDOOR
Verfasser/inNissel, Jana
Jahr2016
Dokumenttypbachelorthesis / doc-type:bachelorThesis
Sprachedeu
MOnAMi docId9787
OAI-Identifieroai:monami.hs-mittweida.de:9787

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Abstract / Beschreibung

METADATA TEXT
Die vorliegende Bachelorarbeit befasst sich mit der Analyse von laserinduzierten Kavitäten in Silizium. Die Bearbeitung erfolgt mittels einem Faserlaser mit einer Wellenlänge von 1064 nm. Dabei werden modifizierte Bereiche durch Einzel-pulse unter Variation der Pulsenergie, Pulsdauer und Pulsabstand im Inneren von Siliziumproben erzeugt. Untersuchungsziel ist es Schwellwerte zu ermitteln, wo eine Dichteumformung bis hin zur Erzeugung von Kavitäten ohne innerliche und äußerliche Beschädigung des Siliziumwafers stattfindet.

Schlagwörter

KEYWORDS
SiliciumWaferLaserstrahlung

Zitierhinweis nach APA 7

APA 7
Nissel, J.. (2016). Untersuchung zur laserinduzierten Erzeugung von Kavitäten in Silizium [Bachelorarbeit, Hochschule Mittweida]. MOnAMi – Hochschulschriftenserver der Hochschule Mittweida. https://monami.hs-mittweida.de/frontdoor/index/index/docId/9787

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